我國首臺化學(xué)機械拋光設(shè)備
中國電子科技集團公司第48所近日成功研制出國內(nèi)首臺具有自立知識產(chǎn)權(quán)的、適用于0.25μm器件特性尺寸、6英寸~8英寸晶圓片平坦化工藝要求的化學(xué)機械拋光設(shè)備。 該項目的研制成功,彌補了我國IC設(shè)備制造業(yè)0.25μm/6英寸~8英寸晶圓片平坦化設(shè)備的空白,對于實現(xiàn)我國微電子產(chǎn)業(yè)的跨越式發(fā)展,形成我國自立的知識產(chǎn)權(quán),提拔我國集成電路的團體研發(fā)水平和產(chǎn)業(yè)核心競爭力及打破國外微電子尖端技術(shù)壟斷有著十分龐大的實際意義。 (信息來源:機械電子頻道子站) (作者:佚名編輯:浙江水暖閥門行業(yè)協(xié)會)
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